电子探针显微分析仪（EPMA）

性能指标：分辨率：二次电子（SE）像：稀土硼化物灯丝，分辨率≤5nm；背散射电子像分辨率：≤20nm；束流稳定性：在15kV50nA条件下：≤±0.5×10-3/h和 ±3×10-3/12h；在15kV20nA条件下：±1.5×10-3/h；检测元素范围：5B - 92U；真空度：工作时的真空度：好于1′10-3 Pa；极限真空度：好于8.0′10-4 Pa。