冷场发射扫描电子显微镜与能谱分析

仪器名称

冷场发射扫描电子显微镜与能谱分析

厂家型号

日立SU8020 

放置部门

公共测试平台 

放置地点

展览楼102 

管 理 员

周娜

仪器原值

3,09万元

联系电话

15810934920

Email：

nzhou@ipe.ac.cn

功    能

超高分辨率扫描电子显微分析系统。 

技术参数指标

1.分辨率：二次电子（SE）像15 kV时1.0 nm；1 kV时1.4 nm (不采用减速模式情况下)。 

2.放大倍率范围：20～1,000,000倍根据加速电压和工作距离的改变，放大倍数自动校准。 

3.加速电压：200V ~ 30kV，着陆电压：20V～30 kV。 

4.电子枪：场发射电子枪。 

5.电子束流：0.6pA～200 nA，连续可调。 

6.束流稳定性：每10小时< 0.4%。 

7.配备电子束减速模式。 

8.物镜光阑：物镜光栏能自加热自清洁；无需拆卸镜筒即可更换。 

9.探测器 二次电子探头：普通二次电子检测器；极靴内二次电子探测器(可探测二次电子、背散射电子和二者的混合像)；镜头安装定向背散射电子探测器。 

10.配备牛津电制冷能谱仪。 

对外服务时间及收费

对外服务时间为周一至周五8：30—17:30，统一在中科院仪器平台上进行预约。 

收费标准：400元/小时(所内)；500元/小时(所外) 

价格说明：该设备配备二级真空系统，放样仅需1min，无需等待抽真空时间。EDS测试不再另外收费。 

             备注