热场发射扫描电子显微镜与能谱分析仪

 分辨率：2 nm(30 kV)/3.0 nm(1kV)；加速电压：0.5kV-30kV，放大倍数：10-500K；浸没式热场发射电子枪，束流强度最大200nA，具有大束流高分辨特点,其中在5nA、WD10mm\15kV时分辨率3.0nm；自动光阑角控制器，无需调整光阑；全自动控制聚焦、合轴、消像散、控制扫描速度；无漏磁物镜设计，便于磁性样品观测；适于配合多种分析性探头；能谱探头面积高达50mm²的有效活区；输入计数率>500,000cps，采集计数率>200,000cps；Mn K典型分辨率<125ev，C Kα<48ev。