原位超高分辨场发射扫描电子显微镜及能谱仪

 分辨率0.7nm@15kV；0.7nm@1kV；3.0nm@100V。放大倍数×10 - ×1,000,000，放大倍数粗、细模式连续可调，具有随着工作距离或加速电压的变化自动精确校正、补偿、预设等功能；×10 -×19,000，可使用大景深模式。加速电压10V-30kV；束流强度1pA-500nA(30kV)；20nA (2kV)。长时间束流稳定性，束流稳定度：1%/24hrs，适合长时间的分析工作。载有牛津能谱仪。