原位近常压X射线光电子能谱仪

放置部门

公共技术中心

放置地点

工程实验楼E-103

管理员

田珂

设备原值

610万

联系电话

18201338660

Email

tianke@ipe.ac.cn

功能

1.原位气氛测试：原位监测样品在一定反应气氛条件下其表面元素化学状态及原子价态的动态变化过程；原位监测反应过程中气体组成及变化;

2.常规测试：可获得元素周期表中除H和He以外的几乎所有元素种类及价态信息;

3.原位变温测试：样品台采用激光加热，最高可到1200 K；液氮冷却最低为140 K;

4.氩离子刻蚀：可进行样品表面清洁及深度氩离子刻蚀.

技术参数指标

分析室压力范围：25 mbar至超高真空;

样品台温度区间: 140 K ~ 1200 K;

三路高精度自动进气及压力控制系统（1~ 25 mbar）;

荷电中和枪（FG22/35: 1 ~ 500 eV, < 1 mA）;

微聚焦高性能单色化Al Ka X射线源，最小束斑＜250微米;

四极质谱仪：质量范围为1-200 amu;

IQE 12/38小光斑离子源：扫描区域10×10 mm，能量0.2-5 keV

对外服务时间及收费

对外服务时间：

周一至周五8:30—17:30，统一在中科院仪器平台上预约。

收费标准：

常规表面元素定性及价态分析：300元/个;

原位变温测试：800元/小时;

深度氩离子刻蚀：800元/小时;

原位气氛测试：1000元/小时.

备注