聚焦离子/扫描电子显微镜

仪器名称

聚焦离子/扫描电子显微镜

仪器型号

Helios 5 CX

放置部门

公共技术中

放置地点

过程大厦E座105室

管理员

李晓禹

设备原值

联系电话

010-82545054

Email

lixy@ipe.ac.cn

功能

是在扫描电镜的基础上加装了离子束系统、机械臂、气体（Pt/W）注入系统、能谱等配件。可以用于金属、陶瓷、半导体、催化剂、聚合物等纳米材料科学、生命科学、金属矿物检测等多领域的微纳加工、微纳结构观察及分析、微纳化学成分测试及分析、高质量定点TEM样品制备、三维重构分析等。

技术参数指标

1、 扫描电子束成像(SEM)：

加速电压范围200V~30kV；

分辨率：0.6nm @15 kV，1nm @1kV，0.9nm @1kV（电子束减速模式）；电子束流范围：0.8pA –176 nA；

着陆能量：20 eV -30 keV。

2、 离子束成像与微加工(FIB)：

加速电压：500 V-30 kV；

交叉点分辨率：2.5nm @30 kV（采用选边法），4nm @30 kV（采用首选统计方法）；离子束流：0.1pA -65 nA；

辅助气体注入系统（GIS）：W/Pt；

具备可直接导入Bitmap/CAD文件，按照预先设定的间距，进行离子束沉积，加工复杂图形的能力。

3、牛津能谱（EDS）：元素分析范围：B5~Cf98

对外服务时间及收费

对外服务时间：

周一至周五8:30—17:30，统一在中科院仪器平台上预约。

收费标准：电子束400/小时（所外），300/小时(所内)；离子束2000/小时（所外），1500/小时(所内)

备注