X射线光电子能谱仪

1.大面积XPS(>500um):>1000kCPS@<0.60eVFWHM: >400 kCPS@<0.50 eVFWHM: 

2.小面积XPS(20um):>500CPS@<0.50eVFWHM: +ccn相机有效面积大于：36mmx24mm; 

3.荷电补偿(PET):>60kCPS@<0.82eVFWHM: 

4.最佳能量分辨率：<0.45eVFWHM: +XPS成像最佳空间分辨率:<3 um。