项目介绍
本项目聚焦离子液体基丙烯酸酯类光刻胶的研发。针对传统光刻胶在分辨率、环保性等方面的不足，利用离子液体独特性质，以离子液体和丙烯酸酯类单体为主要原料，优化合成工艺，开发新型光刻胶。目前已取得阶段性成果，有望为光刻胶市场提供高性能、低污染的产品，满足半导体领域的光刻需求，推动相关产业发展。
技术特点
合成了系列离子液体的丙烯酸酯共聚物光刻胶成膜树脂。其主要特点是：1）成本低廉，工艺简单；2）无有害气体排放等优点。
示范与应用
本项目设计合成了多种离子液体含量的丙烯酸酯共聚物，在对离子液体含量、质量分数、溶剂类型和前烘温度等条件优化后，254 nm波长光刻可得到最小间距为1 μm线条，电子束光刻可获得低于50 nm线条。
市场分析
光刻胶在集成电路、平板显示这两大产业的光刻工艺中占据关键地位，横跨电子信息与新材料两大国家战略新兴产业。全球半导体光刻胶市场规模在2019年达到了约60亿美元，预计到2025年将达到约80亿美元，年复合增长率约为4.5%。目前中国是全球最大的光刻胶消费市场，2023年占有34.6%的市场份额。半导体光刻胶是最大的细分产品，2023年占光刻胶市场份额为42.9%，预计2030年份额将达到45.0%。未来几年年复合增长率大约为7.91%。具有较大的经济效益和社会效益。
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