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国内专利
一种三氯氢硅差压耦合精馏工艺及动态控制方案
专利类别
发明授权
申请号
CN202110266401.1
申请日期
2021-03-11
第一发明人
尹民; 陆平; 白芳; 华超
专利授权日期
2022-12-02
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