中国科学院 | 所主站
国内专利
DOMESTIC PATENT
首页 > 知识产权>国内专利
国内专利 国际专利 软件著作权
国内专利
快速循环流化床化学气相沉积制备多晶硅的设备及方法
专利类别
发明授权
申请号
CN201110304521.2
申请日期
2011/10/10
第一发明人
张伟刚; 于守泉; 卢振西
专利授权日期
2013/10/16
办事指南
规章制度
联系我们
>
<