冷场发射扫描电子显微镜

日本电子JSM-6700F

放置地点

购买价格

169万元

1）二次电子探头可提供表面形貌观察 ，显微结构，尺寸分析 ； 

2)背散电子探头可提供材料微结构及相分布观察； 

3）X射线能谱仪可提供元素成分分析； 

  4)对不导电试样可提供喷金（喷镀材料Pt金）。

二次电子像分辨率：1.0nm (15KV), 2.2nm (1KV)； 

背散射电子像分辨率：3.0nm (15Kv, WD=8mm )； 

能谱以分辨率：126ev； 

放大倍数 ：x25 to x650,000； 

加速电压：0.5KV to 30KV； 

    数字图像采集系统分辨率：1280x1024。

对外服务时间： 

周一至周五8：30—17：30，统一在中科院仪器平台上预约。 

收费标准： 

测试：400元/小时；EDS：150元/样，喷金：100元/次